设备采用专业定制的最优工艺参数；
去除表面氧化物，提升工件之间粘合力；
高精度、快响应、良好的操控性和兼容性；
所有运行参数可监控，充分保证操作便捷、高效。
销售热线：0755-29451276；18312566825
★ 硅胶、塑胶、聚合体的表面退化、腐蚀、活化清洗
★ 摄像头、指纹识别行业，软硬结合钣金pad表面去氧化；
★ 半导体ic领域，cob/cog/cof/acf工艺，用于打线、焊接前清洗。
★ 活化：大幅提高工件表面的浸润性能，形成活性表面；
★ 清洗：去除表面灰尘和油污，精细清洗和去除静电；
★ 涂层：通过表面涂层处理，提供功能性的表面；
★ 提高：提高工件表面涂层附着力。
| 编号 | 功能配置 | 技术参数及说明 | 编号 | 功能配置 | 技术参数及说明 |
| 1 | 型号 | hy-dr80l | 11 | 单次处理宽幅 | 2-7mm |
| 2 | 外形尺寸 | 进口铝：450*400*450（mm） | 12 | 工作气体 | 工作气体可选：ar2/n2/h2/o2 |
| 3 | 真空室规格 | 500*300*300*100（mm） | 13 | 等离子发生器 | 进口高频等离子发生器 |
| 4 | 电极板规格 | 8层平板式电极板：420*360（mm） | 14 | 报警输出 | 声光报警 |
| 5 | 控制系统 | 触摸屏 plc控制 | 15 | 气体路数 | 2路进气、1路放空 |
| 6 | 真空测定系统 | 皮拉尼真空计 | 16 | 电源参数 | 单相三线220v/50~60hz |
| 7 | 运行精度 | ±0.1mm | 17 | 供气需求 | cda，?12mm，>0.6mpa |
| 8 | 重复定位精度 | ±0.1mm | 18 | 排气需求 | ?110mm，>50m3/min，<-400pa |
| 9 | 气体计量系统 | 精确质量流量控制计mfc | 19 | 总功率 | 约1.5kw |
| 10 | 处理功率 | <300w |
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