站点地图深圳市鸿圆机械电器设备有限公司为您免费提供口罩生产设备,smt设备,smt生产线,自动化设备公司等相关信息发布和资讯展示，敬请关注！
您的位置： 尊龙凯时国际首页 > 行业新闻 > 等离子清洗在集成电路和mems行业的应用

等离子清洗在集成电路和mems行业的应用 -尊龙凯时国际

来源: www.hongyuanzhizao.com 发布日期: 2019-05-13 17:57:00

在集成电路或mems微纳米加工前道工序中，晶圆表面会涂上光刻胶，然后光刻，显影，但光刻胶只是图形转化的媒介，当光刻后在光刻胶上形成微纳米图形后，需要进行下一步的生长或刻蚀的工艺，之后需要用某种方法把光刻胶去除。等离子体去胶机可实现此功能。它用射频或微波方式产生等离子体，同时通入氧气或其他气体，等离子体与光刻胶进行反应，形成气体被真空泵抽走

 

相关标签：等离子,
相关产品

火焰式等离子清洗机

1、去除表面氧化物，提升工件之间的粘结力； 2、高精度、快响应、良好的操控性和兼容性； 3、所有运行参数可监控，充分保证操作便捷、高效。(length='40')]...
2019-09-04

窄边框手机组装工艺清洗机

自带气源精密过滤组件； 离线式操作，双轨平台交替进出，效率更高； 采用手柄编程控制，简单易用，故障声光报警； 配置一套hy-djp-1k直喷点式等离子体射流喷枪； 火焰不带电荷，处理温度保持在40℃左右，不损工件； 自平台运动速度0-600mm/sec可调节，采用步进马达 同步带传动。(length='40')]...
2019-05-31

真空式等离子清洗机

设备采用专业定制的最优工艺参数； 去除表面氧化物，提升工件之间粘合力； 高精度、快响应、良好的操控性和兼容性； 所有运行参数可监控，充分保证操作便捷、高效。(length='40')]...
2019-05-30

咨询热线

0755-29451276；18312566825

自动化设备公司哪家好？s口罩生产设备报价是多少？smt设备质量怎么样？深圳市鸿圆机械电器设备有限公司专业承接smt生产线,smt设备,自动化设备公司,电话:0755-29451276；18312566825

powered by 　　　　城市分站：

尊龙凯时国际 copyright @ 2019 尊龙凯时人生就是搏的版权所有 深圳市鸿圆机械电器设备有限公司

鸿圆机械 - 鸿飞千里、圆你所梦

0755-29451276；18312566825 / 13760320782

返回尊龙凯时国际首页